Hitachi
3500N
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2001-10-26
184,030,000원
고정형
건별
24,000원
가속된 전자빔을 시료에 조사할 때 발생되어 나오는 2차 전자, 후방산란 전자, 엑스선을 이용하여 시편 표면의 미세한 요철상, 조성상 및 성분 분석을 할 수 있는 장비이다.
* Resolution : 3.0 nm ( at 25kV , secondary electron image, high vacuum mode )
* 4.5nm ( at 25kV, backscatterd electron image, variable pressure mode, Robinson detector)
* Magnification : x15 ~ x300,000(143 steps)
* Accelerating Voltage : 0.3 to 30kV (1171 steps)
* Variable Pressure range : 1 to 270 pa
* Specimen size : 150/200 mm dia. (maxium)
* EDX(Energy Dispersive X-ray Spectrometer) : 5B to 92U