PHILIPS
XL 30 ESEM-FEG
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2000-04-03
450,000,000원
고정형
시간별
0원
고해상도의 재료 화학분석, 유기 및 무기재료 미세구조 분석, 재료 형상 관찰
전자beam을 시료 위에 주사시켜서 시료로부터 튀어나온 2차 전자를
모아서 검출한 후 여러 가지 복잡한 기계장치를 거친 후 CRT에
영상화시키는 것. 특별한 전처리 없이 생물시료나 절연재료의 관찰가능
Wet mode 분해능 : 2.0nm(30 kV)
Heating stage : 1,000℃, 1500℃
EDS : B5~U92
표면의 미세구조 형상분석
정성, 정량 분석 (Energe Dispersive X-ray System)