VG microtech
ESCA 2000
10년
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > 분광분석장비 > 달리 분류되지 않는 분광분석장비
2000-04-01
450,000,000원
고정형
시간별
0원
- 극표면 조정분석, 박막의 깊이 방향, 원소분포 분석, 화학적 결합상태 분석
- 고(高)진공 중의 시료에 연(軟)X선을 조사하여, 광전효과에 의해 방출된 각 원소 고유의 광전자의 운동 에너지에서 원소분석
- 각 원소 최대의 감별에서 가수(価數)나 결합상태, 존재상태 등의
[네이버 지식백과] X선 광전자분광법 [X-Ray Photoelectron Spectroscopy] (도금기술 용어사전, 2000. 6., 도서출판 노드미디어)
1. X-ray source system
Twin anode Mg/Al
Anode HV 0 - 15 kV
Beam current 0 - 27 mA
Filament current 0 - 5.0 A
Focus 0-300 V (100)
2. Electron gun system
Spot size : < 200 nm at 0.5 nA current
Aperture 250 A dia.
Replaceable filament (tungsten)
Electron beam gun power supply 10 kV
Maximum target current 3 A
Beam energy 100V - 10 kA
Filament supply 0 - 4.0 at 6 V DC