KLA Tencor
AlphaStep IQ
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2003-09-17
56,754,545원
고정형
시간별
0원
박막의 두께 측정 및 표면 형상 관찰
- Scan Length : 10mm
- Scan speed : 2um/sec to 200um/sec
- scan method : Bi-directional moving stylus stationary stage
- Vertical Range/Resolution : 20 um/0.0119 Å, 400 um/0.228 Å, 2 mm/1.19Å
- Stylus Force : 1~100 mg manually adjustable.
- Variable image Magnification : 70-210 ×
- Maximum sample Movement : X-Axis : 5.94in, Y-Axis : 3.15in, Theta : 360°
- Maximum sample thickness : 0.82 in(21mm)
- Maximum sample weight : 2.2 lbs(1kg)