올림푸스
LEXT OLS3000
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2007-01-01
74,156,134원
고정형
시간별
0원
삼차원 측정, 명시야(컬러), 암시야, 미분간섭 관찰
- Microscope Type : Confocal scanning laser microscope
- Scan speed : 5 frame/sec
- X-Y Resolution : 0.12 ㎛
- Z drive Resolution : 0.01 ㎛ (built-in 5 nm scale)
- Magnification : 120x ~ 14430x
- Detection : PMT
- Laser source(파장) : 408 nm
- Z stage (stroke) : 100 mm
- X-Y stage (stroke) : Max 100*100 mm