엔씨디
Lucida C200-PL
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2011-02-10
280,000,000원
고정형
기타
0원
TSV 적용을 위한 TaN, Ru, Cu 증착
- Cluster type
- Substrate size : 8inch wafer
- Process chamber 2 대
- Transfer chamber (Load-lock) 1 대
- Substrate heater temp. : Max 400 ℃
- 증착 물질 : TaN, Ru, Cu