YIELD ENGINEERING SYSTEM
YES-G1000
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2004-11-01
65,000,000원
고정형
시간별
0원
잔류 PR 제거 및 표면 클리닝
- Voltage : 208V AC
- Frequency : 50~60 Hz
- Phase : 1
- Current : 20 Amps
- Power : 1000 Watts
- Gas : Ar, O2