Suss microTec Lithography GmbH
DELTA 80T
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2003-03-03
41,153,743원
고정형
시간별
0원
- 반도체 공정 중 Photo process 중 wafer 표면에 감광액을 도포하는 공정
- Photo- lithography process 용
- wafer 상에 Photo 공정을 위해서 기본이 되는 process
- Max speed : 6 inch (3,000 RPM)
4 inch (5,000 RPM)
- Substrate size : 3, 4, 6 inch