FEI
Sirion
11년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2005-01-01
35,095,232원
고정형
시간별
80,000원
- 재료의 표면 및 단면 형상 관찰 : SE image BSE image SE+BSE image
- Deceleration function : 낮은 가속전압에서 높은 분해 가능 기존의 높은 가속전압을 지니는 SEM에서 관찰하기 힘든 바이오 시편 등에 유리
* 특징 - 에미터 : Schottky
집속된 전자빔을 시료 표면에 주사하면서 전자빔과 시료와의 상호작용에 의해서 발생된 이차전자 혹은 후방산란전자를 이용하여 시료의 표면구조 및 에너지분산분광기를 이용한 원소분석이 동시에 가능한 장비임.
- SE and BSE 검출기(In-lens type)
- 분해능 ; 1.5nm at 10kV
- EDX take-off 35도 at zero tilt(EDAX