Daipla Wintes
SAICASNN-EX
10년
주장비
계측
물리적 측정장비 > 달리 분류되지 않는 물리적 측정장비 >
2014-04-02
357,591,950원
고정형
건별
147,000원
1. 본체
(1) 샘플 스테이지 장치
- X축 모터 스테이지 : 스트로크±12.5mm 분해능 0.5μm/full step
- Y축 모터 스테이지 : 스트로크±30mm 분해능 4μm/full step
- θ x축 스테이지 : 70mm(W) x 70mm(D) X 26mm(H) 스트로크 ±3゜
- θ y축 스테이지 : 70mm(W) x 70mm(D) X 26mm(H) 스트로크 ±3゜
(2) 진공펌프
- 모델 : DA-40S
- 속도 (50Hz /60Hz): 30/36L/min
- 내압력(Max) : 19.9x103 Pa
- 중량 : 7.2kg
- 크기 : 128(W) x 240(L) x 178(H) mm
(3)방진 테이블
- 고유주파수:2.5Hz ~ 3.0Hz
- 수평화 방법:자동 수평화 (공기 압력 0.3 ~ 0.7Mpa)
1. 본체
(1) 샘플 스테이지 장치
- X축 모터 스테이지 : 스트로크±12.5mm 분해능 0.5μm/full step
- Y축 모터 스테이지 : 스트로크±30mm 분해능 4μm/full step
- θ x축 스테이지 : 70mm(W) x 70mm(D) X 26mm(H) 스트로크 ±3゜
- θ y축 스테이지 : 70mm(W) x 70mm(D) X 26mm(H) 스트로크 ±3゜
(2) 진공펌프
- 모델 : DA-40S
- 속도 (50Hz /60Hz): 30/36L/min
- 내압력(Max) : 19.9x103 Pa
- 중량 : 7.2kg
- 크기 : 128(W) x 240(L) x 178(H) mm
(3)방진 테이블
- 고유주파수:2.5Hz ~ 3.0Hz
- 수평화 방법:자동 수평화 (공기 압력 0.3 ~ 0.7Mpa)