A. 진공챔버 1 Set
(1) 효율적인 작업 공간 : 가용 직경 700mm X 가용 높이 900mm 이상
(2) Retort 재료 : Stainless steel DIN1.4571 또는 이에 상응하는 고온 부식 재료
(3) 최대 조절 가능한 챔버 온도 : ≥650 °C
(4) 챔버 내 온도 변화 : ±5 °C 미만
(5) 최대 장입 중량 : 1250 kg
(6) wall heater : 3개의 가열/ 3개의 냉각 존, 각각 독립적으로 제어됨.
(7) 고온 wall 챔버의 정밀한 온도 제어를 위하여3개의 외부 송풍기가 장착됨
(8) 장비 시스템의 지붕에 하나의 뷰 포트가 비디오 카메라와 함께 설치되어 있으며 따라서 컨트롤 시스템의 모니터를 통하여 공정을 관찰 할 수 있으며 공정 관찰을 위하여 retort 꼭대기에 올라 갈 필요가 없다
(9) Retort의 유압 리프트 및 이동 장치가 있으며 코팅할 가공물의 로딩 또한 크레인에 의해 가능하다.
(10) 양극-음극 배열의 유연 충전을 위한 3 레벨 충전 구조
B. 가스 공급 시스템
B-1. N2, H2, CH4, Ar, BCL3 용 공정 가스 유량 제어
(1) 공정 가스의 정밀한 측정과 제어를 위한 디자인
(2) 테스트, 배치 또는 연속 공정 작업 시 가스 배급의 정밀하고 순간적인 제어를 위한 전자석 서보 컨트롤 밸브 내장 가스 플로우 레이트
B-2. Ti 함유 코팅을 위한 TiCl4 반응 시스템 1 Set
(1) TiCl4 증발기와 저장 탱크
C. 진공 시스템 1 Set
C-1. 건조 진공 펌프
(1) 공칭 처리량 : 0-400 l/h 이상
(2) 최종 합계 압력 : 0.05mbar 이하
C-2. 두 종류의 압력 센서 컨트롤
(1) 압력 게이지1 : 0,01 ~10 mbar
(2) 압력 게이지2 : 10-1.000 mbar
C-3. 레규레이션 밸브 포함
C-4. 스크러버 또는 배기 가스를 위한 다수의 필터 링 시스템
D. 배치 온도 측정 시스템
(1) 4개의 직접 접촉식 열전대를 사용한 열처리 제품 온도 측정 시스템. 열전대와 배치간의 세라믹 절연체 또는 유사 절연물이 사용되지 않음
(2) 절연 증폭기(Isolating Amplifier)를 지닌 안전 회로와 선형 시그널 출력을 위한 전기적 평가 포함.
E. 공정컨트롤과 조절
E-1. 공정 컴퓨터, 공정 시각화와 채택 소프트웨어를 포함하는 자체 작동 프로세스 컨트롤 시스템을 갖춘 완전 자동화
E-2. 공정 컨트롤 시스템은 환기/전기 캐비닛 랙에 설치되고 전선 연결된다.
E-3. BCL3 가스 컨트롤 시스템을 위한 시각화 소프트웨어와 가스 유량 컨트롤 전자 기술을 포함한다.
E-4. 공정 컴퓨터 및 모니터
(1) CPU : 샌디브릿지 이상
(2) RAM : 4 GB RAM
(3) Display: LCD monitor
E-5. 공정 컨트롤 범위
(1) 압력 조절 범위 : 0.01-10 mbar
(2) 공정 온도 조절 범위 : 20-650°C
(3) 벽 온도 조절 범위 : 20-650°C
(4) 시스템 진단, 유지 보수 등을 위한 전자 기술 및 소프트웨어의 원격 조절이 실현되어야만 한다.
(5) 아크 탐지 센서와 보호 유닛이 포함 된다.
F. 마이크로 펄스 플라즈마 전원 공급 시스템 1 Set
(1) 스위칭 캐비닛에 완전하게 설치되고 전성 연결 된다.
(2) 양극 펄싱 (음극 양극 펄스)
(3) 출력 35kW
(4) 최대 펄스 전압 700V
(5) 최대 펄스 전류 300A
(6) 최대 펄스 출력 210kW
(7) 조정 가능한 펄스 지속 시간 (Pd) 2-4000µs
(8) 조정 가능한 펄스 중지 시간 (Pp) 8-4000µs
(9) 아크 방전에 대비한 안전 스위치 오프 <0,3µs
(10) 양극 펄스 당 음극 펄스의 수 0-4000µs