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Samco
RIE-10NR
9년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2008-05-19
222,353,943원
고정형
시간별
130,000원
이온반응을 이용한 식각
1. Chamber size : 200mm Flat 2. Chamber Material : Aluminum 3. RF/RF Power : 13.56 MHz/ 300w