JEOL
JEM-ARM200F
11년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2011-08-19
3,304,548,864원
고정형
시간별
250,000원
200kV의 가속전압을 가지는 구면수차보정 주사투과전자현미경으로 가속된 전자가 시편을 통과하여 발생하는 상호작용을 이용하여 원자분해능을 가지고 미세구조 분석 전자회절을 이용한 결정구조 분석 그리고 에너지분산분광기 에너지손상분광분석기를 이용한 원소분석이 나노영역에서 동시에 가능한 장비임.
가속전압 : 200 kV
- 점 분해능 : 0.20 nm
- 격자 분해능 : 0.1 nm
- STEM 분해능 : 0.08 nm
- 전자총 : ZrO/W(100) thermal field emission type
- Spot size
- TEM mode : 2 ~ 5 nm dia.
- EDS/NBD/CBD mode : 0.5 ~ 2.4 nm dia.
- 배율
- TEM LOW MAG mode : x50 ~ 6000
- TEM MAG mode : x2000 ~ 1500000
- TEM SA MAG mode : x8000 ~ 800000
- STEM MAG mode* : x20000 ~ 150000000 (need STEM)
- STEM LOW MAG mode*x100 ~ 15000 (need STEM)
- 시편경사각 : X/Y : ± 35˚ / ± 30˚
- EDS Solid angle : 0.28 sr. (with 30mm2 EDS detector)
- 기록장치
- US 1000 CCD Camera (Gatan Inc.)