파크시스템스
XE-100
11년
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > 달리 분류되지 않는 화합물 전처리 분석장비 >
2007-09-06
45,000,000원
고정형
건별
0원
원자 단위의 높이측정에 쓰임
시편 표면 거칠기 측정
시편 표면 측정
원자 지름의 수십분의 1까지 측정할 수 있으며 진공에서만 관찰이 가능한 전자현미경과 달리 대기 중에서도 사용할 수 있다.
또 시료의 형상을 수평·수직 방향 모두 정확하게 측정할 수 있고 시료의 물리적 성질과 전기적 성질까지도 알아낼 수 있다. 배율은 광학현미경이 최고 수천 배 전자현미경이 최고 수십만 배인 데 비해 최고 수천만 배까지 가능해 하나하나의 원자까지 상세하게 관찰할 수 있다.
대표적인 주사형 프로브 현미경(scanning probe microscope SPM)의 하나로 캔틸레버(cantilever) 끝에 설치되어 있는 뾰족한 프로브와 시료 표면 간에 작용하는 원자간력을 이용해 시료 표면의 삼차원 상을 얻는 장치이다
Laser CatileverPhotodiode Piezo Sample loding Feedback and XYZscan control
AFM에서는 텅스텐으로 만든 바늘 대신에 마이크로머시닝으로 제조된 캔틸레버(Cantilever)[6]라고 불리는 작은 막대를 쓴다. 캔틸레버는 길이가 100μm 폭 10μm 두께 1μm로서 아주 작아 미세한 힘에 의해서도 아래위로 쉽게 휘어지도록 만들어졌다. 또한 캔틸레버 끝 부분에는 뾰족한 바늘이 달려 있으며 이 바늘의 끝은 STM의 탐침처럼 원자 몇 개 정도의 크기로 매우 첨예하다. 이 탐침을 시료 표면에 접근시키면 탐침 끝의 원자와 시료표면의 원자 사이에 서로의 간격에 따라 끌어당기거나(인력) 밀치는 힘(척력)이 작용한다