엠오텍
Thermal evaporation
12년
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > 달리 분류되지 않는 화합물 전처리 분석장비 >
2007-03-15
44,000,000원
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텅스텐 보트에 전류를 흘리면 텅스텐 보트 자체의 저항으로 보트가 발열을 하게 됩니다 그럼 보트 위에 올려져 있는 물질은 높은 온도의 텅스텐 발열로 녹아서 증착되는 원리 Evaporation: 이베포레이션은 금속재료를 증착시키기 위해 고진공(5x10-5 ~ 1x10-7torr)에서 전자빔이나 전기 필라멘트를 이용해 보트를 가열하여 보트위에 금속을 녹여 증류시키는 것입니다. 이때 증류된 금속은 차가운 웨이퍼 표면위로 응축되는 것입니다. 금속은 저항 가열 소스 홀더(보트)위에 놓여지게 되는데, 증착되는 부분은 이 보트의 위치에 맞게 정해지게 됩니다. 챔버내에 진공을 만들고 원하는 진공상태에서 보트에 전원이 공급되면 금속이 증발하게되는 것입니다.
금속재료를 증착시키기 위해 전자빔이나 전기 필라멘트를 이용해 보트를 가열하여 보트위에 금속을 녹여 증류시키는 것입니다. 이때 증류된 금속은 차가운 웨이퍼 표면위로 응축되는 것입니다. 금속은 저항 가열 소스 홀더(보트)위에 놓여지게 되는데, 증착되는 부분은 이 보트의 위치에 맞게 정해지게 됩니다. 챔버내에 진공을 만들고 원하는 진공상태에서 보트에 전원이 공급되면 금속이 증발하게되는 것입니다.