EDAX
Pegasus
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 달리 분류되지 않는 광학·전자 영상장비 >
2008-05-08
195,418,262원
고정형
시간별
200,000원
제조사 FEI
모델 Helios, Pegasus
SEM
- Resolution : 1.4nm (at 1kV) 0.9nm(at 15kV)
- Current : 0.7pA to 22nA
- Energy Range : 30kV down to 350V
FIB
- Resolution : 5nm(at 30kV)
- Current : 1.5pA to 20nA
- Energy Range : 30kV down to 500V
Sample stage
- Up to 6inch wafer
EDS
- Resolution : 129eV
EBSD
- High speed 200 indexed pattern per second
사양 1nm, 5nm
용도 3차원 가공 및 구조, 성분의 입체적 분석
1.구성 Dual-beam FIB (FEI) EBSD EDS (TSL) Nano-indenter (Hysitron)
1.구성 Dual-beam FIB (FEI) EBSD EDS (TSL) Nano-indenter (Hysitron)