파크시스템스
XE-150
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2005-05-24
178,167,331원
원
AFM은 가장 보편적인 주사탐침현미경으로서 전기적으로 부도체인 시료 표면을 관찰할 수 있게 되었다. AFM에서는 텅스텐으로 만든 바늘 대신에 마이크로머시닝으로 제조된 캔틸레버라고 불리는 작은 막대를 쓴다. 캔틸레버는 미세한 힘에 의해서도 아래위로 쉽게 휘어지도록 만들어졌으며 캔틸레버 끝 부분에는 원자 몇 개 정도의 크기로 매우 첨예한 바늘이 달려 있다. 이 탐침을 시료 표면에 접근시키면 탐침 끝의 원자와 시료 표면의 원자 사이의 거리에 따라 끌어당기거나(인력) 밀치는 힘(척력)이 작용한다.
1 .Image resolution
- X, Y: < 0.2nm, Z: < 0.01nm
2. Scan range
- X, Y: > 90×90μm, Z: > 5μm
3. Sample stage
- Sample size: > 100×100mm - Sample weight: > 500g