㈜아이이에스
SDC-1700
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 >
공동활용허용
2012-02-24
83,600,000원
직접사용
고정형
시간별
10,000원
- Substrate와 노즐간의 Gap을 전체 코팅영역에 대해 측정하여 그 Data를 3D Map으로 PC에 저장한 후 실시간 코팅중에 미리 저장된 data를 이용하여 Gap을 제어 사용.
- Substrate와 노즐간의 Gap을 전체 코팅영역에 대해 측정하여 그 Data를 3D Map으로 PC에 저장한 후 실시간 코팅중에 미리 저장된 data를 이용하여 Gap을 제어 사용.