1) Acoustic Enclosure - Liquid Cell
수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호간섭 배제
2) AFM 스테이지 / 헤드 / 스캐너
- 최대 샘플 사이즈 : 50 x 50 (mm)
- 최대 샘플 중량 : 500 g
- 샘플 이동거리(XY) : 최대 20 x 20 (mm)
- 50 um 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어
* 수평(XY) 측정영역 : 최대 50 x 50 (um)
* 분해능 : <0.05 nm (open loop),
<0.3 nm (close loop)
* Out-of-plane curvature (스캐너 왜곡율) : 2 nm 미만 (수직방향/소프트웨어 보정없이 40 um 측정 시)
* 수직(Z) 측정 영역 : 최대 15 um
* Noise floor : <0.02 nm (typical),
<0.03 nm (maximum)
* 최대 공진주파수 : 9 kHz 이상
- 캔틸레버 변형의 검출 방식 : SLD (Super Luminescent Diode ) 이용
* 파장 : 830 nm ( Coherent Length : 50um 미만 )
- 캔틸레버 진동 주파수 : 최대 3MHz
- 측정 기능
: Contact AFM, DFM, NC-AFM, LFM, Phase Image, Force vs. Distance spectroscopy.
Option monde : FMM, MFM, EFM, DC-EFM, SKPM, PFM, Nanoindentation.
- 비디오 광학 현미경 : 수직(Z) 스캐너 축에 일치 ( CCD 카메라 장착 )
* 배율 : 780 배 이상
* 관찰 영역 : 480 mm x 360 mm
* 디지털 줌 : 최대 100 배
3) 콘트롤 시스템
- X/Y/Z 콘트롤 회로 : 3축 모두 Closed-loop Feedback 위치제어
- DSP 제어 : 600 MHz DSP Control (4,800 MFLOPS )
- Electrical Controller : 20 bit DAC for x,y,z scanner positioning, 24 bit ADC for x,y,z position sensor, Digital Q control