주식회사 쎄크
SNE-4500M
10년
주장비
시험
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2014-12-29
69,300,000원
원
1. 상기 장비는 미세물질을 확대하여 시료의 표면을 관찰할 수 있는 분석 기기이다.
2. 이 장비는 시료의 위치를 이송하기 위하여 스테이지 도어의 X, Y, R, Z, T 5개의 이동축을 사용한다.
3. 이 장비는 스테이지 도어의 축을 조정하여 측정위치를 찾은 후 전용 프로그램을 사용하여 확대, 초점 및 밝기 조정, 스캔속도 조정, 치수측정, 이미지저장, 인쇄 등이 가능하여야 한다.
4. Manipulator 및 Heating element stage를 통하여 시료의 촬영조건을 설정할 수 있다.
5. 특정지점(Position Selectable)을 선택하여 주사할 수 있는 프로그램이 기본장착 되어있으며,
표시영상(Live mode)의 Lay-out을 자체 이동할 수 있어 사용자의 눈높이를 조정할 수 있다.
1. Performance
- Resolution of SEI : 5nm at 30kV
- Magnification : 30x ~ 100,000x (Digital Zoon: 2x, 4x)
- Effective Magnification : 30x~60,000x
- Accelerating Voltage : 5kV ~ 30kV (5kV / 10kV / 15kV / 20kV / 30Kv – 5step)
2. Electron Optics
- Electron Gun: Pre-centered Tungsten Cartridge Type
- Lens System
a. Two-stage Electromagnetic Condenser Lens
b. One-stage Electromagnetic Objective Lens
- Stigmator: 8-Pole Electromagnetic
- Variable Aperture : 30/50/100/200um - 4holes
3. Signal Detector
- Secondary Electron Detector
- Back Scattered Electron Detector (Option)
4. Specimen Stage
- X-axis traverse: 40mm
- Y-axis traverse: 40mm
- Rotation: 360° Continuous
- T -axis : 0 ~ 45°
- Z – axis traverse : 0 ~ 35mm
- Maximum specimen size: 80mm in diameter, 35mm in height
5. Spot Mode : Position Selectable
6. Image Shifting : X,Y - Beam Shift 100um (using 4-pole electromagnetic coils)
7. Evacuation System
- Rotary Pump + Turbo Molecular Pump
- Full Automatic Sequence
- Automatic Function : Auto Focus, Auto Contrast & Brightness, Auto Stigmatism
8. Control and Display System
- Computer : Desktop Computer or Laptop Computer
- Controls : Mouse and Keyboard
9. Scan Speed
- Fast Scan: 320x240
- Slow Scan: 640x480
- Photo Mode 1: 1280x960
- Photo Mode 2: 2560x1920
10. Software Features
- Save / Open Various type of Image Format
- Save Image Acquisition Condition and Parameters, Video Capturing
- Various Measurement Tools and Annotation
11. Installation Environment
- Temperature : 15 ~ 30°C/ Humidity : 70% or less
- Power : 220V AC, 1KW or less, 50~60Hz
12. Dimension
- Main Unit :
390(W) × 500(D) × 560(H) mm (with Stage)
390(W) × 380(D) × 560(H) mm (without Stage)
- Control Unit : 390(W) × 335(D) × 560(H)mm
- Rotary Pump: 400 (W) x 190 (D) x 340 (H) mm / 10kg