Jmon
Pulse Laser Deposition System
10년
주장비
생산
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
2014-07-30
87,900,000원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 32,000원
펄스레이저 증착 시스템(PLD: Pulse Laser Deposition System)으로 강한 레이저 빔을 타켓(Target)에 입사시켜 플라즈마화하여 목표물질(시편: Sample)에 증착시키는 시스템이다. 박막 증착에 필요한 진공챔버(Main Chamber) 내의 타켓(Target)에 레이저를 조사시켜 샘플에 원하는 두께와 조성의 박막을 증착시킨다.
PLD시스템은 금속 반도체 등의 단일체 또는 복합체의 박막화 연구 및 개발에 직접적으로 활용될 수 있음.(진공5x10E-7torr)
1)Main Chamber
- Shape: Cylindrical Type (>Φ350 >400H)
- Material: Electro-polished SUS304
- All Metal Seal
- Cooling Trap
- Port : View(with shutter) Pumping gauge venting shutter view port feedthrough port etc
- Optical Window: Fused Silica(UV grade Wavelength: 248nm) (>Φ75 >10t)
- Shield Jacket
2)Multi Target Unit
- Holder :3ea Rotation Speed :0~30 RPM
3)Optical Module
- UV 240nm~350nm
- Vis 400~700nm