에타맥스
제작품
10년
주장비
계측
데이터 처리장비 > 달리 분류되지 않는 데이터 처리장비 >
2014-01-17
201,450,000원
기관의뢰
고정형
기타
0원
244nm레이저를 이용한 광파장 Detector로써 UVLED 및 증착된 두께를 측정가능하다. 측정은 onr point 즉 원하는 곳 한곳만 측정과 각각의 substrate의 크기에 따라 8인친까지 Mapping이 가능한 장비이다. 웨이퍼와 웨이퍼가 비교 분석이 가능하며 측정한 데이터는 PDF엑셀word등 다양한 파일로 저장이 가능하다
1.Hardware - X-Y stage : 300mm travel 측정기판 크기 (2“4“6“8“ wafer) - Z stage : 5mm travel - Control PC and 17 inch monitor - Manual Loading system
2. Light source PL - 244nm laser (UV Laser용 광 전송장치 포함) Thickness & Reflection Source : White LED module * Standard Features - True hands-free operation in the UV - X/Y adjustable BBO mount for long crystal life - Temperature regulated BBO crystal - High efficiency folded cavity - Astigmatic compensation for clean focus - Actively stabilized resonator - Pinned optics mount for precise alignment - Temperature compensated prism wavelength selector - Easy conversion between visible and UV operation - 2 year / 2000 hour tube warranty