아전가열산업
개발장비
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 오븐
2015-03-11
59,900,000원
기관의뢰
고정형
건별
0원
저압화학기상법을 이용한 TaC 증착장치. TaCl5 분말을 승화시켜 Ta 원료를 공급하고, CH계 기체를 독립적으로 공급하여 저압 및 고온에서 반응시켜 TaC를 증착.
TaC 층의 균질화를 위하여 TaCl5 분말을 연속적으로 공급할 수 있는 장치가 구축되어 있음.
TaC 증착을 위한 장치는 분말공급장치/분말승화장치/기체공급장치/반응로/진공시스템/스크러버 등으로 구성되어 있으며, 최대 증착온도는 1600oC이며, 10-3 torr 급의 진공도를 가짐.