Otsuka Electronics
ELSZ-2000ZS
8년
주장비
시험
물리적 측정장비 > 달리 분류되지 않는 물리적 측정장비 >
2015-06-24
82,500,000원
고정형
건별
40,000원
저농도(0.1ppm)에서 고농도(40%)까지 넓은 농도에 대한 분석이 가능하고, 입자표면의 이온을 측정함으로써 pH 변화에 따른 입자의 분산 및 응집을 확인할 수 있으며, 한번 측정으로 혼합된 입자(5종류까지)에 대한 제타전위를 측정하고, Plate Panel Cell Unit로 연마 대상 막질에 대한 Zeta-Potential 측정이 가능하며, 반도체 Wafer 표면의 Charge를 측정하여 Slurry와의 상관성을 확인 할 수 있음.
1. Detector, Main Body, Semi-Conductor Laser로 구성되어 있으며, Zeta Potential은 No limited로 측정할 수 있음.
2. pH Titlator system 및 Plate surface Zeta cell unit을 보유하여 슬러리의 Zeta 전위와 연마 대상 막질의 제타전위 측정이 가능
3. 저농도(0.1ppm)에서 고농도(40%) 까지 넓은 농도에 대한 분석이 가능