엠에스테크
M6VC
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 달리 분류되지 않는 광학·전자 영상장비 >
2015-03-30
74,800,000원
고정형
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Photoluminescence excitation(PLE) spectroscopy는 광학적으로 여기시킨 시료의 여기광의 파장에 의존된 발생된 광의 자연 방출을 측정하여, 여기광 파장에 따른 시료의 광학적 특성(흡수와 발광 특성)측정을 통하여 발광 메커니즘 및 발광층내의 에너지 상태밀도 관찰을 것을 목적으로 한다. 추가로 저온, 고온에서 PLE 측정 가능하다.
분석 시료 유형: - LED 에피 웨이퍼(특히, LED 에피 웨이퍼는 향후 주류가 될 6인치 sample wafer 까지 cover), LED 칩, LED package
-vacuum chamber system
온도제어 범위 : 액체헬륨-heater(10K~500K)
온도제어 정밀도 : 5K이하
전류 노이즈 범위 : 1pA level 이하
진공도 : 50mtorr이하
진공 펌핑 속도: 20분 이내 50mtorr이하 도달
현미경 : X200 이상
탐침기 조절범위 : 1um 이하
영상카메라 : HD화질 실시간 캡쳐
-optical source(xenon lamp, monochromator)
여기광원: 500W Xenon lamp
여기광 파장 변조 범위 : 300~700nm
모노크로메터를 통한 여기광 파장 분해능 : 0.5nm
-signal measurement(lock-in amp.)
Voltage Input : A only, -B only or Differential (A-B)
Full-scale Sensitivity :
0.5 Hz ≤ F ≤ 250 kHz - 10 nV to 1 V in a 1-2-5 sequence
250 kHz < F ≤ 2.0 MHz - 100 nV to 1 V in a 1-2-5 sequence
Current Input :
Low Noise - 10 fA to 10 nA in a 1-2-5 sequence
Normal - 10 fA to 1 μA in a 1-2-5 sequence
Full-scale Sensitivity :
F ≤ 250 kHz - 1 pA to 100 μA in a 1-2-5 sequence
F > 250 kHz - 10 pA to 100 μA in a 1-2-5 sequence
광학기기 광 손실률 : 30%이하
컴퓨터 시스템 제어 시스템 및 변동의 용이성