(주)화인솔루션
RS-80
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 롤장비
2016-01-01
1,170,460,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
일별
400,000원
- TSP 시제품공정라인의 공정 중 투명 전극소재의 인덱스 매칭, 보호층 및 금속(SiOx,SiNx, Al, Zn etc) 형성을 위한 공정 목적으로 하는 장비임.
- 연성소재생산공정으로 다양한 재료에 대한 연속 대면적 처리가 가능한 Roll to Roll공정을 바탕으로 하는 웹 코팅시스템
- 빠른 공정속도, 대량생산, 낮은 생산단가를 목표로 하는 공정기술개발을 위한 시제품 제작용으로써 최적의 시스템
-Maximum Film width : 400 mm
-Maximum Film length : 800 M
-Vacuum Chamber : STS304L 6 zone : UW, BF, Process1, Process2, Process3, RW
-Pump(내화학 공정 가능) : Oil rotary pump, Dry pump, MBP, TMP(coated blade), Polycold (외산 Dual)
-Valves : High Vacuum Valve (ISO250. VAT)
-Vacuum condition : Up to 10-4 Pa
-Web. Speed : Max. 10MPM
-Uniformity : 5% (thickness)
-Operation Mode
Auto pumping / Auto Venting / Recipe Op / Process Manual mod
e / Data logging etc.
-System Functions
1) Pretreatment Module : linear ion gun
2) SiO2 PE-CVD module (PECVD). DDR : ≥ 200 nm m/min
3) Thermal Evaporation Module(저온 Effusion cell) : 증착가능한 polymer, Al, Zn, In, Sn, Li 등
- Utility 1) 전원 : 380V, 60Hz, 3 phase, 150 kW
2) Water : DI, Max. 4.5kg·f/cm2, 100 liter/min
3) N2 Gas Supply : Dry Pump 2kgf/cm2
4) High Pressure Air : CDA . Min. 6.5 kg·f/cm2 5) Scrubber system for Cl coating shield(source, chamber wall)