(주)엔씨디
Lucida D100 Batch Type
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2015-10-22
118,000,000원
고정형
기타
100,000원
본 Lucida D100 ALD(Atomic Layer Deposition)시스템은 High-K 유전막 또는 투명전도막이나 다양한 용도의 산화물박막 제작을 위한 증착장비로서 다양한 반응가스와 Precursor를 이용하여 Si 기판 또는 유리나 기타 소재의 기판 위에 원자층 단위로 박막을 증착하는 장비이며 thermal방식의 기판히터만으로 열에너지를 가하여 다양한 oxide형성이 가능하고 원자층 증착박막 특유의 step coverage가 탁월하여 다양한 소자 구조 하에서 기판과 산화물과의 계면에서 상호작용에 대한 연구가 가능하고 transistor뿐 아니라 태양전지 소자 및 display등의 소자 제작에 최적의 물질과 공정조건을 수립하는 연구를 수행할 수 있는 장비이다.
기존의 복잡했던 Gas/Source delivery system을 단순화시켜 CUBE형태의 Block내부에 유로들을 형성, Pulse 및 purge cycle시 가장 짧은 경로를 통해 carrier gas와 source를 챔버까지 유입시킴으로써 공정시간을 단축시킬 수 있고 기존의 길고 복잡한 가스라인 내부의 오염 시 모두 교체해야만 했던 번거로움과 비용적 부담을 없애며 오히려 손쉬운 세정작업으로 유지보수와 획일적인 온도관리를 통해 ALD공정변수를 줄임으로써 공정의 재현성을 확보한다.
1. 공정챔버 모듈
1) 챔버형태:수평형 실린더형태(Traveling wave type), Batch Type(수량 :5장), Wafer Cassette
2) 크기: Approx. Ø250 x 50 Hmm
3) 소재: SUS316(전해연마) & Al6061(아노다이징)
4) 진공펌프 및 배기라인 구성
- 저진공펌프 : Dry pump (TAIKO TD:200)
- 배기속도 : > 3000 l/m
- 배기라인트랩 : Heating type
- 배기라인구성 : SUS 재질의 파이프 및 벨로우즈 사용
- 벤트라인구성 : 자동퍼지/벤트라인 & 밸브사용
5) 진공밸브 류
- 앵글밸브 : 공압형 자동개폐타입 (NW25)
6) 진공도 측정기
- Baratron gauge : F.S 10 Torr (100℃ heating type)
- Convection gauge (오염방지 밸브부착)
7) 기판 장입 및 탈착 : 수동방식
8) 진공게이지, 펌핑, 벤트를 위한 포트구성
9) 반응기 재질 : SUS316L
10) 기판히터
- 형태 : 몰딩히터 (micro sheath)
- 최대온도 : 350°C (300°C @ 6"wafer, 1Torr)
2. 가스주입장치 모듈
1) 가스주입장치 : MFC (Mass flow controller)
- 공정가스 : N2 (500 sccm)
- Purge & vent gas : N2
- Assist gas line : Filter gasket
2) 소스용기 & 히팅블럭
- SUS canister : 100cc, EP grade
① H2O : 1ea (냉각자켓사용)
② Source : 2ea
- 고온용 : 1ea (히팅블럭)
- 저온용 : 1ea (냉각자켓)
3) 소스주입장치
- Integrated gas system (IGS)
: 내부유로형성된 큐브형태의 주입장치
: 전구체와 반응체의 주입경로가 큐브내에서 분리됨
: C-seal개념의 블록마운트 형태의 공압밸브 사용
: 카트리지히터로 큐브전체를 균일하게 가열
4) 가스밸브류(Kitz) & 가스라인구성
- 공압자동밸브 : Air actuated (normal close type)
: C-seal type (2-way/3-way)
- 수동밸브 : for safety
- 가스라인(SUS316L) : Micro polished
- 가스라인구성
: All auto welded & VCR fitting
: He leak tested to ~10-8 Torr·l/s
- 가스라인 온도관리 : 알루미늄 히팅블럭사용 (Max.180°C)
5) 소스용기 냉각장치 : 2-channel (Peltier type)
- PID 조절방식
- 온도조절범위 ; 0℃~25℃
- 19" 표준 컨트롤러
3. 프레임 모듈
- 형태 : 아이보리 색상의 연철재질 사용(냉각팬 및 캐스터 삽입)
4. 시스템 제어 모듈
- 산업용 PC 및 17인치 LCD모니터 사용 : 풀오토 공정가능
- 쉽고 편리한 GUI구성과 공정 Recipe편집가능
- 프레임 내부에 전장판넬 집적구성
- 아날로그 및 디지털 input/out card
- ON/OFF 스위치
- Emergency switch
- 기본 공정물질에 대한 Recipe 저장 및 제공