(주)알파플러스
개발장비
9년
부대장비(부가장치) (주장비:인라인 물리기상증착 장치)
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2015-03-26
457,600,000원
원
- 본 “Al-Mg 코팅 강판 후열처리 장치”는 진공 코팅으로 강판 위에 Al-Mg 코팅층을 제작한 후 다양한 온도 조건에서 열처리를 실시할 수 있는 장치이다.
- 본 장치는 Al-Mg 코팅 강판의 내식성, 밀착력과 같은 특성 향상을 위해서 요구되는 후열처리 공정을 개발하기 위한 용도로 활용할 계획이다.
- 후열처리 장치는 시편을 열처리할 수 있는 챔버, 시편을 입력하고 출력할 수 있는 Loading/Unloading Chamber로 구성된다.
1. Al-Mg 코팅 강판 후열처리 장치 주요구성
가. Vacuum Loading/Unloading Chamber Ass’y : 1 Set
1) Vacuum Chamber & Frame : 2 set
2) Vacuum Pumping Ass’y : 2 set
3) Chamber Interior Ass'y : 2 set
4) Vacuum Measurement Ass'y : 2 set
5) System Control Ass'y : 2 set
6) Utility : 2 set
나. Loading/Unloading Magazine : 1 SET
1) Magazine Frame : 2 set
2) Sample Moving Ass'y : 2 set
3) Utility Ass’y : 2 set
다. EML Chamber Ass'y : 1 SET
1) Door type Source Spool & Flange : 1 set
2) Vacuum Pumping Ass'y : 1 set
3) Chamber Interior Ass'y : 1 set
4) Vacuum Measurement Ass'y : 1 set
5) System Control Ass'y : 1 set
6) Utility : 1 set
라. Vacuum Heat Treatment Chamber Ass'y : 1 SET
1) Vacuum Chamber & Frame : 1 set
2) Vacuum Pumping Ass'y : 1 set
3) Heater Ass'y : 1 set
4) Utility : 1 set
마. 고주파 Power Supply : 1 SET
1) 고주파 Power Supply : 1 set
바. System Control 프로그램 : 1식
2. Al-Mg 코팅 강판 후열처리 장치 주요 성능
가. 시편 크기: 600 X 300 mm
나. 열처리 온도: 400 도(섭씨) 이상
다. 시편 이송 속도: 최대 10 m/min