Veeco
GEN20
10년
주장비
기타
광학·전자 영상장비 > 달리 분류되지 않는 광학·전자 영상장비 >
2013-09-27
1,312,216,400원
원
고출력반도체 에피 성장을 위한 박막 성장 장치
본 장비는 기반구축 사업으로 구축되었으나 심의시 단독활용으로 심의를 득하였습니다.
Main chamber, Preparation chamber, loadlock chamber 및 Turbo, dry, ion, Cryo pump등으로 구성