1. 구성
- 전기로, 진공배기시스템, 제어유닛, 전원부, 핫존
2. 성능
- Work Zone : Ø400mm(W) × 380mm(H)
- 최고온도 : 2200℃
- 최고가압력 : 3bar
- Heating Elements : Graphite
- 온도제어 : C-Type Thermocouple + Optical Pyrometer
- 도달진공도 : 4 × 10-3torr
- Process Gas : Vacuum, Ar, N2
- 냉각속도 : 1000℃에서 100℃까지 약 7시간