네쓰
모델명 없음
9년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2015-08-24
480,000,000원
고정형
시간별
100,000원
O 필터드 아크이온플레이팅 시스템의 적용 분야는 다양하며 자동차, 기계, 전기전자 부품 표면특성개질을 통한 제품의 고부가가치화하기 위해 사용하며 주요 용도는 아래와 같음
- 나노 소재 박막증착을 통한 제품 다기능화
- 자동차부품, 공구 등 고내구성, 고내식성, 고경도 박막의 특성개선을 통한 부품성능 증대 및 수명향상
- 자동차 내외장재, 휴대폰커버 등의 고감성화 및 고품질화
- 초경피막, 광학코팅, 장식용 코팅 등 다양한 용도로 활용
O 이러한 기능을 바탕으로 미래선도형 실용화기술개발을 시도해 본 연구원의 첨단 기술력을 공고히 하고 높은 초기시설비와 신뢰성의 장벽에 막힌 다수의 중소/중견기업이 활용할 수 있게 하여 첨단기술이 적용된 시제품 개발을 지원할 예정
▸ 처리용적 : D1000 × H1500mm
▸ 공전/자전 지그 시스템
▸ Arc gun unit 8ea (80mmΦ, 1 kW)
▸ Filtered arc gun unit 2ea (80mmΦ, magnetic filter)
▸ Pulsed power supply for bias : 10kW
▸ 진공펌프: Diffusion pump
▸ 사용가스 : 질소, 아르곤, 수소, 산소 등