서울엔지니어링
제작
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 광학현미경
2010-02-04
99,000,000원
고정형
시간별
40,000원
광학현미경을 기본으로 ND YAG 레이져를 장착한 레이져 마커&리페어 장치로 제품의 불량 분석 시, 불량 부위에 대한 마킹 및 리페어를 수행하는 장비임. 집속이온빔(FIB)시스템의 보조 장비로 활용
1. 현미경 :
- 관찰모드 : 명시야, 암시야, 편광
- 대물렌즈 : 5X, 10X, 20X, LD50X, LD100X
- 대안렌즈 : 10X
2. ND YAG LASER
- Laser 종류 : Q-Switch YAG Laser
- 파장 : 532 nm
- MAX power : 8mJ/Pulse
- 반복주파수 : 1 ~ 6 Hz
- 최소가공사이즈 : 1um
- 최대가공사이즈 : 300um
3. 자동 스테이지 : 200mm X 200mm