테스칸
LYRA
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2009-10-29
80,999,506원
기관의뢰
고정형
시간별
220,000원
Ga Ion을 이용하여 특정위치 결함 및 이물을 분석하기 위한 집속이온빔 전자현미경으로써 고배율 전자현미경을 통해 시료의 결함 및 이물의 위치를 결정하고 Ga Ion을 이용하여 미세 가공을 실시하여 미세 결함 및 이물의 형상을 분석하는 장비임.
Specification of selected parameters LYRA I FIB-SEM : SEM Column _x000D_
Electron Gun tungsten heated filament _x000D_
Resolution (SE) : 3.5 nm at 30 kV _x000D_
Accelerating Voltage 200 V to 30 kV _x000D_
Magnification : 3x - 1000000x_x000D_