인포비온
IA-520
10년
주장비
시험
화합물 전처리·분석장비 > 반응/혼합/분쇄장비 > 혼합기
2015-05-11
54,447,890원
원
연구에서 필요로 하는 Si 파우더 열처리장비로 대량의 Si 파우더 제작(1.2Kg)이 가능한 Pilot 장비로 화학적 증착법(CVD)을 이용하여 SiH4 가스의 열분해를 통한 고순도의 결정질과 비정질의 Si powder를 대량 제작할 수 있다. 증착에 사용되는 100% SiH4가스는 폭발성이 강한 가스로 사용자가 안전하게 사용 할 수 있도록 장비의 인터락 및 안전장치가 필히 제작/장착 되어있어야 한다. 또한 공정 챔버내부에 투입되는 파우더의 경우 나노파티클(nm)사이즈의 아주 가벼운 파우더로 펌핑, 증착(열처리), 벤트 공정 중 파우더의 손실이 없도록 공정 챔버가 디자인 되어야하고 대량의 파우더가 균일한 증착이 될 수 있도록 파우더를 썩어 줄 수 있는 구조로 제작 되어야한다. 이를 위하여 2중 구조의 챔버를 적용 외부 챔버는 고정되어 있고 내부의 챔버만 정/역 방향으로의 회전 및 회전 속도에 대한 조절이 가능하다. Si 합성로의 Heating Zone의 유효 길이는 470mm로 유효존 안의 온도 편차는 ±10℃로 유지 되어야 하며 Heating Zone에 Gas가 균일하게 분사 될 수 있는 Gas Bar 장치가 내부 챔버안에 장착 되어 있어있다.
설비의 모든 제어는 Touch Panel을 사용하여 Full Auto(Recipe Control), Semi Auto, Manual등의 모든 방식이 사용 가능하도록 제작되어야 하며 사용자 부주의에 의한 사고를 방지 할 수 있도록 모든 인터락이 적용되어있다.
1. Process Chamber
- Process Chamber (SUS 310S)
- Side Chamber Mounting with Flooring Bed Flange
- Gas Inlet Port with Flooring Bed (with Vent Connection)
- TC Feedthrough
- Substrate Holder Mounting Flange
: NW25 Port/Pumping Port
: Guide Rod & Sustaining Zig
- Powder Mixing Module
: Ferro Seal/Rotation Shaft/Powder Holder
: Guide Bearing or Zig/Loading/Unloading Module
2. Pumping System Assy
- Soft pumping Angle Valve
- Pumping Bellows with Pumping Line
- Union with Pumping Vent
- Rotary Pump Nipple, Piping /Rotary Pump
- Ar purge line valve
3. Vacuum Gauge
- Low Vacuum Gauge & Controller
- ATM sensor/Set-point & Interlock Board
4. Gas Module
- 1/4" VCR Pneumatic Valve/Soft Vent Valve
- MFC/MFC Controller (MKS) (4 channel)
- Gas Line, Gas Line Bracket & Panel/Purge Line
5. Furnace Module
- Tube Furnace ( Max 1000℃ )
: Ø140 * 900L Heating Zone
: Heater Cover with Insulator & Mounter
- Temperature Controller
: Programable Type/Power Supply Module
: I/V meter
6. System Controller
- Heater control box
: Power On/Off/Volt meter & Ampere meter
: Power adjust volume
- Gas Line valve control
: Safety Control/N2 Purge Line Control
: SiH4 Bypass Line Control
: Sol valve block/SMPS (DC 24V)
- Pumping control
: Pumping Valve Control
: Vent Valve & ATM Sensor Interlock
- Powder Mixing Module Control
: Rotation Control/RPM Control
: CW, CCW Rotation Meter & Controller
7. Frame & Utility
- Frame Ass'y
: Caster & Adjuster/Al profile Frame
: Frame Door & Cover/Utility Mounting
- Utility Ass'y
: Air Regulator & Pressure Switch/Air Filter
: Solenoid D-Connector with Cable
: Solenoid Mounting Panel
: Cooling Water Distributer
: Guide Rod Zig Supporter
8. Miscellaneous Part - O-ring/Clamp & Centering Ring/Fitting, Tube
- One Touch Fitting/Water & Air Tubing