제이몬
개발장비
12년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 >
2014-06-05
69,863,010원
고정형
기타
0원
- 결정질 실리콘 태양전지 전극 진공증착기 전용으로 156mm x 156mm크기의 태양전지용 웨이퍼를 장착함.
- 실리콘 웨이퍼 금속 박막 증착기.
- 반사방지막 물리적 증착 가능.
- 금속 계열 및 반사방지막 MgF2 (옵션) 박막 증착 진공 쳄버와 TMP/mechanical pump로 구성됨.
- 1 effusion cell
- evaporatrion 기능 추가 가능.