Coherent
AVIANX
5년
주장비
시험
광학·전자 영상장비 > 달리 분류되지 않는 광학·전자 영상장비 >
2015-08-26
165,371,080원
고정형
시간별
36,000원
DPSS(Diode-Pumped Solid-State) Q-Switching 방식의 나노초 UV 레이저로 빠른 펄스 반복율을 가지므로 유리 또는 반도체 Wafer의 고속 가공이 가능
또한 M2 < 1.3의 고품질 빔 형상을 가지고 있기 때문에 우수한 가공 품질을 얻을 수 있으며 Beam Shaper 등의 회절 광학계를 이용하여 Beam 형상 제어를 쉽게 구현할 수 있음
단, 조화파를 발생시키는 비선형 광학소자(Nonlinear crystal)의 관리 및 유지·보수에 항상 유의해야 함
I. 장비의 구성 (Configurations of Goods)
1. Laser Head 1 set
2. Chiller (Water/Air) 1 set
3. Controller (Power supply) 1 set
II. 성능 및 규격 (Performance and Specification)
- 성능(Performance) -
1.End pump design for higher efficiency
2.Long life time laser diode material 3.Singlemode fiber delivery for consistent pump volume
4.Total pulse controllable system
5.Automatic crystal shifter to avoid THG crystal degradation
6.Beam position control to enhance beam pointing stability
7.Individual laser diode temperature control
- 규격(Specification) -
1.Wavelength 355nm
2.Pulse width < 35ns (typical)
3.Laser power 40W
4.Pulse repetition rate Single shot to 300KHz
5.Spatial mode TEM00 (M2 < 1.3)
6.Max. pulse energy ≥ 225μJ
7.Pulse-to-pulse stability < 5% (rms)
8.Average power stability < 2% (rms)
9.Polarization ratio 100 : 1 (Vertical)
10.Divergence angle < 0.3mrad
11.Beam diameter 3.5±10%mm (1/e2)
12.Warm-up time < 60min from cold start < 20min from stand-by
13. Operating voltage 220VAC, single phaseII.