코리아바큠테크
KVS-5000
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
2016-12-22
459,800,000원
기관의뢰 직접사용 임대가능
고정형
기타
60,000원
투명 전극 및 유전체 박막형성을 위한 박막 증착 클러스터 타입의 스퍼터 장비.
Si wafer 또는 glass wafer 위에 박막을 증착하며 ITO, SiO2, TiN타겟을 사용함
본 장비는 챔버가 3개로 cluster-type 스퍼터 장비.
Molded 히터, 최대 250도(기판온도 기준), 최대 8인치, ITO / SiO2 / TiN 증착가능, 공정가스 Ar/O2/N2