(주)명성기계
없음
9년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 >
공동활용허용
2014-05-22
89,650,000원
기관의뢰
고정형
시간별
100,000원
광섬유모재 제작 공정(MCVD)에서 저손실 광섬유모재 제작을 위한 Substrate tube cleaning과 광섬유의 기하 구조 제어나 OH기에 의한 손실 개선을 위한 광섬유모재의 표면 식각에 활용하는 장치임.
본 장비는 크게 세 부분으로 구성됨. 각각 식각 세정 장치(Etching wet station)와 식각용 원액 공급 장치 그리고 폐액회수 장치임. 여기서, 식각 세정 장치는 2개의 식각조와 1개의 세정조로 구성되었으며 폐액회수 장치는 식각 폐액 또는 식각 후 1차 세정 용액 회수함. 세정수 공급량은 약 분당 30리터이며, 식각은 순환펌프를 통한 식각용액의 순환과 질소 버블링 방식을 동시에 적용 가능함.