JEOL
JSM-6010LV
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2015-02-26
96,000,000원
고정형
건별
50,000원
특징
1. 마이크로 소프트사의 윈도우즈 7 에 기반한 사용자 친화적 환경에 의해 구동되어야 하며
마우스와 키보드에 의해 주사전자현미경의 조작이 쉽게 가능해야 하며, 설치 장소를 쉽게 이동해서 재설치 할 수 있도록 지원 되어야 한다. 그리고, 작업 키보드에서 모든 작업을 할 수 있도록 설계되어야 한다.
2. 고진공에서 4.0nm, 저진공에서 5.0nm의 해상도를 보증하고, 저진공이나 고진공 모드의 전환이 한 번의 조작으로 가능해야 한다.
3. 수분이 함유된 시료를 저진공 상태에서 코팅이나 탈수 등의 과정 없이 5.0nm의 해상도로 관찰 할 수 있어야 하며, 또한 생물과 같은 수분을 함유한 시료가 코팅이나 탈수 등 의 과정 없이 관찰 가능해야 한다.
1. 작동 1) 해상도 : 고진공 - 20KV 에서 4.0 nm이상 , 3KV에서 8.0nm 이상 / 저진공 20KV에서 - 5.0 nm 이상 2) 배 율 : 5배 ~ 300,000배 이상, 디지털 표시기능 및 147단계이상 조작 3) 이미지 모드 : 이차전자 이미지, 후방 산란 전자(반사전자) 이미지 기본 장착. 2. 전자 광학 시스템 1) 가속 전압 : 0.5에서 20kV 또는 그 이상 2) 전자총 필라멘트 : 공장에서 촛점이 맞추어진 텅스텐 머리핀모양 필라멘트 카트리지 타입 필라멘트 모니터 : 통합형 3) 전자총 바이어스 - 자동모드 : 2개의 범위에서 자동설정 - 수동모드 : 수동 작동에 따라 변함 4) 축 조정 : 2단의 전자석 자동 조절, 5) 렌즈 시스템 : 3단계(2단 줌 콘덴서 렌즈, 대물렌즈 1) 6) 초점 : 자동 및 수동 가능, 통합형 7) 대물렌즈 조리개 : 지속적으로 가영하는 타입이며, 미세 위치 맞춤형 8) 초점 워블러 : 기본 장착 9) 스티그메이터 : 8-극 전자석 형, 메모리, 수동 및 자동 구면 수차 조정 장치 포함 10) 시료 기울기 보정 : 0-85도, 조정가능, 역동적 초점 조정 장치 일체형 타입. 11) 주사 코일(Scanning coil) : 전자석 굴절형 12) 이미지 미세 조정기: X, Y축 +/- 50μm 13) 배율 조절 : 자동 배율 조정기 14) 콘트라스트, 브라이트니스 : 수동, 자동 및 메모리 조정 장치 일체형 15) 탐침 전류 범위 : 1 pA to 0.3 mA 이상 16) 시료대 진공도 조절 : 10 Pa to 100 Pa 이상
3. 시료대 1) 타입 : 중심 촛점이 잡힌 시료대(Eucentric ginometer) 2) 시료 이동 - X 축 이동 : 80mm 이상 - Y 축 이동 : 40mm 이상 - 기울기 : -10 ~ +90도 이상 - 회전 : 360도(무제한) - 작업거리 : 43 mm, 연속적 변동 가능, Z 센서에 의해 LCD화면에 디지털 표시 - 시료 교환 : 시료 끌기 형(Draw-out type) 또는 문 개폐 형 - 시료 최대 크기 : 직경 150mm 마운트 가능 - 관찰 최대 크기 : 직경 125mm 관찰가능
4. 검출기 : 1) 이차전자 검출기 2) 후방 산란 전자 검출기
5. 주사 시스템(scanning system) 1) 주사 모드 : 풀 프레임, 라인, TV 스캔 모드, 사진저장 모드 등. 2) 주사 속도 : 15개 주사 속도 중에서 용도에 맞게 선택.
6. 화면 시스템 1) 배율 표시 및 관찰 조건 표시 기능 2) 22인치 LCD모니터 이상 3) 이미지 화질 조절 :수동 및 자동으로 조정 가능해야 함.
7. 이미지 저장 기능 1) 2560×1920, 5,120 X 3,840×8 비트 이상 2) 하드 디스크 저장, BMP 또는 TIFF 포맷
8. 작동 시스템 1) 컴퓨터 : IBM 호환 컴퓨터, 펜티엄4 급 이상 2) 작동 : 마우스와 키보드에 의한 작동 가능 3) 작동 조건 기록: 20명이상 사용자 및 각각 100개의 파일 저장 기능
9. 이미지 관리 시스템 1) 색상 모드 : 모조 색상, 흑백 2) 2개 또는 4개 이미지 동시 표시 3) 2-4배 디지털 줌 4) Look up table : Gamma correction, Binary image, Multi step image, Histogram
10. 진공 장치 1) 조절 : 자동 컨트롤 시스템, 2) 압력 : 고진공에서 7 x 10E-4 Pa, 저진공에서 1 x 100 Pa 이상. 3) 챔버 및 EOS 컬럼 압력 표시 4) 진공 펌프 : 1TMP(77 L/s) + 1 R.P(100 L/min) 또는 그 이상. 5) Foreline trap : 기본공급
11. 안전장치 1) 자동 및 수동 확인 장치 2) 안전장치 : 전기 및 물 공급, 압력 보호 장치 기본공급
12. 절전 모드