인포비온
INFO-RF-120G
10년
부대장비(부가장치) (주장비:적외선 광학금형 DLC 코팅기)
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2014-03-28
90,499,970원
기관의뢰
고정형
기타
1,000,000원
- 적외선광학 렌즈용 유전체 소재 다층 무반사 박막의 고밀도, 고부착력을 위한 시스템
- 적외선 무반사 코팅 제작시 박막과 적외선광학 유리렌즈의 손상을 방지하기 위해 저온 박막 공정용 이온빔 장착
- 대면적 적외선 유리렌즈(? 100 mm) 코팅 공정시 박막의 uniformity 확보를 위해 이온빔 aperture는 120 mm 이상의 대면적 크기가 필요함
- 기보유장비인 광학유전체박막코팅시스템의 업그레이드
- 적외선 광학렌즈용 유전체 소재 다층 무반사 박막의 고밀도, 고부착력을 위한 시스템
- 본 장비는 이온빔, RF 파워, 컨트롤 부, Neutralizer, water cooling system 으로 구성
- 적외선 무반사 코팅 제작시 박막의 손상을 방지하기 위해 저온 박막 공정용 이온빔(200℃이하) 장착
- 이온빔과 Neutralizer는 RF power에 의한 냉음극 플라즈마를 소스로 사용하므로 필라멘트를 가열하여 열음극 플라즈마를 생성하는 End hall 이온 소스의 열 손상 배제 가능
- Neutralizer장착으로 이온빔의 직진성을 향상시키며 이온빔 조사에 의한 박막의 이온 charge arc를 중화시킬 수 있음
- 적외선광학 유리렌즈에 적용 가능
- 대면적의 적외선광학 유리렌즈에 균일한 박막 코팅 가능
- 유지보수의 용이성
- Ion Assisted Deposition(IAD)을 이용하여 증착되고 있는 박막에 충격을 주어 박막의 기둥을 깨트려 조밀도 향상시켜 외부환경에 강한 코팅 박막 제작 가능
- 증착 전 이온총으로 기판의 잔류 오염 물질을 제거하여 박막과 기판의 밀착력 향상
- 산소 반응 이온빔 사용하여 조밀도 향상, 화학 반응 촉진, 원소 조성비 증가로 빛의 흡수가 적은 코팅 박막 제작 가능
- 출력 Beam Energy : ∼1000 eV(MAX)
- Beam Aperture : 120 mm