아이앤솔루션(주)
ISA-7822
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2015-03-20
176,000,000원
고정형
시간별
300,000원
진공 챔버 내에서 고온/고압 상태를 정밀하게 컨트롤하여 film과 chip/wafer 계면의 void를 제거하고 adhesive를 경화시킴과 동시에 온도가 가해진 상태에서의 warpage를 제어할 수 있는 시스템
▸ Chip/wafer를 adhesive를 사용하여 attach할 때 발생할 수 있는 void를 진공 챔버 내에서 압력을 가해줌으로써 제거가 가능하며, 동시에 온도를 가하여 계면의 adhesive를 경화하는 시스템
특징 및 편의 기능 (Features & Benefits)
▸ 챔버 내 하중 20 kgf/cm² 이상
▸ Temp check point : 5 point
▸ Each temp. of 5 point based on set temp. : ≦ ±3℃
▸ Normal Operating Temp. : 200℃
▸ Water cooling system
▸ Condition 175℃ to 80℃ cooling time : < 30min
(1) Basic capability
▹ Closure : Quick Closure Clamp -
▹ Normal Operating Pressure : 20.0 kgf/cm2
▹ Design Pressure : 24.0 kgf/cm2
▹ Relase Pressure(Safety valve) : 21.0 kgf/cm2
▹ Normal Operating Temp.: 220℃
(2) Design & function
▹ Temp. check point : 5 point
▹ Each temp. of 5 point based on set temp. : ≦ ±3℃
▹ Rising time (room≧150℃) : ≦ 30 min
▹ Oven shelf : clamp type, No mechanical vibration
▹ Over and low heating temp exceeding : alarm should be run
▹ Programmable temp. profile memory : 100 sets
▹ Programmable mulit-step cure : 20 step
▹ Over heat protector/alam
▹ Over pressure protector/alam
▹ Motor overload protector
(3) Hardware
▹ Body & closure : sus304
▹ Clamp : SCM440, SNCM439
▹ Camber internal space : dia. 760 x 800 mm
▹ Working zone : 596 x 434 x 800 mm
▹ Water cooling process
▹ Utility water temp : 20 ~ 30 ℃ needed
▹ Condition 175 ℃ to 80 ℃ cooling time : < 30min
▹ Thermocouple unit : K type 5 ea
▹ Pressure transducer : Material STS 316, Signal 1-5 VDC, Pressure range 0~30kgf/cm²,
Accuracy ±0.5% of F.S
(4) Utility
▹ Fan unit power : 200 VAC, 3상, 60 Hz, 1HP
▹ Heater unit power : 220/380 VAC, 3상, 42 kW
▹ Heater type : Kanthal Winkle Heater
▹ Heater cover : STS304
▹ Heater condition : 25℃ to 175℃ heating time : <40min
▹ N2 compressor system (≧8kgf/cm², Min 5 kgf)
▹ Cooling water : 2 lpm, =15’c
▹ Electric Power (220/380VAC, 3-ph, 42 ㎾)
▹ Basic electrical wiring(main panel ~ ISA control panel)
▹ Basic pipe(Comp ~ ISA Inlet)
▹ Install area preparation
▹ Duct Size: 100mm
▹ Exhaust Heat : 8.64 Kcal (Chamber 80’c, 20bar , 1 time)