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GV400
11년
옵션/액세서리(보조장치) (주장비:탄화규소 화학기상증착기)
생산
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 펌프
2013-05-27
43,780,000원
고정형
기타
0원
기 구축된 탄화규소용 화학기상증착기(NFEC-2011-02-143031, SiC-CVD코팅기)에서 SiC코팅 공정중 압력을 제어하기 위한 예비용 진공펌프로 HCl가스 등 toxy가스에서 사용이 가능한 장비임.
가. 제조사 및 모델
- Edwards/GV400
나. 성능 특성(Features)
- Robust ductile iron construction
- Repeatable pumping performance
- Ability to control pump temperature
- Excellent dust and vapor handling capability
- Fit and forgot performance