(주)정민실업
없음
11년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
2014-07-21
292,000,000원
고정형
일별
480,000원
본 비산화물 반응소결로는 아르곤(Ar)과 질소(N2)가스를 사용하여 Si함침 SiC 제조 및 AlN원료합성에 사용이 가능한 장비이다. Si함침과 AlN 합성은 가스 반응을 동반하기 때문에 반응 중 많은 양의 Si Vapor와 Co2가스가 발생하여 장비내부(히터&단열재)의 오염 및 손상을 일으킨다. 따라서 이를 방지하기 위하여 그라파이트 Muffle Box를 제작하여 모든 공정이 Muffle Box 내부에서 진행되며, 반응가스를 포집할 수 있는 필터가 부착되어 드라이펌프를 보호한다. 특히 위의 공정은 공정중 압력제어가 중요함으로 유입가스량은 MFC로 제어하며 배기라인에 Gate 밸브가 부착되어 MFC와 연동하며 미세한 압력까지 제어가 가능한 장비이다.
1. Chamber
2. Vacuum Exhaust System
3. Automatic Pressure Control System
4. Si Vapor Filter Unit
5. Heating Element & Insulation
6. Electrode & Wiring
7. Heating Element Power Supply
8. Utility : Air, Water, Power, Gas
9. Frame & Control Panel