Hitachi
AFM5300E
9년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2016-03-04
294,708,030원
기관의뢰
고정형
시간별
40,000원
-주사프로브현미경(SPM)의 한 종류로 분석 시료와 탐침의 원자 사이에 작용하는 반 데르발스 힘을 이용하여 시료 표면의 형상과 다양한 물리적인 정보(위상, 표면전위, 마찰력 등)를 얻는 장치.
-전자의료기기부품 및 소재의 표면 형상과 물리적인 특성을 대기상태뿐만 아니라 진공과 액체 내에서도 측정이 가능하므로 다양한 샘플을 다양한 환경 조건에 따라서 측정가능.
- 응용분야 : 전기, 전자, 의료, 소재, 바이오산업 등 다양한 분야에 응용 가능
1.Probe Station(AFM5000Ⅱ)
1)Computer System : windows7
2)Active Q controller Included
3)Control and Data Processing Unit
-XY Scanning Voltage : resolution higher than ±200V/18 bit or comparable with at least three independent DA converters for each axis control
-Z axis Scanning Voltage : resolution higher than ±200V/21 bit or comparable with at least three independent DA converters for each axis control. The Auto Gain Control function is desirable to observe uneven surfaces.
4)Feedback : XY, Z Digital feedback control
2.SPM Unit(AFM5300E)
1)SPM Unit
-Cantilever fine moving mechanism
-Cantilever rough moving mechanism
-Cantilever displacement detection mechanism
-Sample supporting and moving mechanism
-Temperature control module
2)Probe Head
-Maximum sample size : larger than 15mm × 15mm
-Scanners and scanning area
·10um Scanner : better than XY : 10μm, Z : 1.5μm
·100um Scanner : better than XY : 100μm, Z : 10μm
- Resolution : better than XY : 0.1nm, Z : 0.01nm
3)Various Applications
-기본모드 : AFM, DFM
-기계물성 : PM(위상), FFM, LM-FFM(마찰력), VE-AFM/DFM(점탄성), Adhesion(흡착력)
-전자기물성 : Current, KFM(표면전위)
4)Environment control
-Vacuum level 10-3 torr or higher
-Temperature
·LqN2 cooling down to –35℃ or lower
·Heating up to 250℃ or upper
-humidity : 0 ~ 80%RH
-Liquid : Morphology of bio sample measure in the liquid.