BLS
개발장비
6년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2015-08-26
734,800,000원
원
플라스틱 필름을 Roll로 장착하여 유연한 유기발광소자를 제작할 수 있는 장비.
정공주입, 수송층, 발광층, 전자 수송 및 주입층과 음극 증착까지 한번의 공정으로 소자 제작이 가능한 연구설비입니다.
chamber는 길이 8,170mm, 폭 2,910mm (Glove BOX 포함) 이며, 8개의 유기물 증착소스와 3개의 금속 증착소스로 구성되어 있다. 추가적인 물질 증착이 우려되어 2개의 유기물과 1개의 금속, 총 3개의 소스가 추가될 수 있도록 설계가 되어 있다. 금속재료 같은 경우 사용량이 많아 진공을 풀지 않고도 자동으로 물질을 증착원에 넣어주는 Auto feeding 기능을 갖추고 있어 유기물 밑 두께 컨트롤 센서의 수명이 다하기 전에는 진공상태를 꾸준히 유지 할 수 있다.
본 장비는 Roll-to-Roll 공정이 가능하여 플라스틱 필름 및 Stainless steel foil등을 장착할 수 있다. 장착 가능한 필름의 폭은 150mm이며 길이는 1,000mm까지 장착이 가능하다. OLED 제작 특성 상, 고진공 상태를 요구하기 때문에 16inch Cryo pump(Genesis. CO.)가 2대 장착이 되어 있으며, 저진공 펌프는 Dry pump (20,000liter급)로 구성되어 있다. 진공도는 1.5*10E-7 Torr의 고진공 상태를 유지할 수 있다. 유기박막의 두께는 Inficon사의 Cygnus 2가 장착되어 있어 오차범위 2%내의 증착 속도를 유지하면서 필름 두께를 측정할 수 있다. 제작이 완료된 OLED 샘플은 수분과 산소에 취약하기 때문에 대기 중으로 꺼낼 수 있어 chamber마지막 부분에 Glove BOX를 장착하여 질소분위기에서 샘플을 다룰수 있도록 하였다. 이 때 수분과 산소 함유량은 각각 1ppm이하로 유지되고 있다. 마지막으로 Glove BOX 내부에는 Lamination module이 장착되어 OLED 샘플을 Encapsulation할 때 사용될 것이다.