ANNEALSYS
AS-ONE 100
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2015-09-10
96,329,126원
기관의뢰
고정형
시간별
100,000원
급속열처리 장비는 금속 물질의 증착 후 접합력을 높이기 위해 일정한 온도에서 요구되는 시간동안 유지되는 장비이며, 진공 및 대기압 분위기에서 공정의 수행이 가능하다. 그리고 분위기 가스는 Ar, 질소 등이 사용 가능함
공정이 진행되는 챔버와 온도를 올려주는 할로겐 램프, 온도 제어를 위한 제어 소프트웨어로 구성되어 있다. 그리고 온도는 초당 최대 200도의 상승이 가능하며 대기압 및 진공 분위기에서 공정 수행이 가능하다.