Tse Troller Ag
TSE-1501
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2015-06-18
182,880,589원
고정형
일별
1,000,000원
- 한번에 2층의 다층 습식 박막을 형성할 수 있는 혁신적인 장비로서 차세대 Dual 코팅개발을 위해 필요한 장비임.
- 기존 Bar 코팅의 태생적 문제인 쓸림현상, 스크래치, 코팅 불균일 문제가 크게 줄어들어, 컨소시엄 기업의 신속한 제품 개발 니즈를 충족시킬 수 있음
- 고정밀 가공 및 구동 시스템을 보유하여 정확한 코팅 실험 가능
구성]
- 2층 동시성막 가능한 Dual Slot die
- 코팅용 테이블 (기재의 진공 흡입 및 가열 가능)
- Vacuum chamer
- 용액 급액 장치
- 정밀 제어장치 및 구동부
- 장비구동 프로그램 및 controller
- 정반
[ 성 능 ]
- 고정밀 슬롯다이 코팅 테스트 가능
- 용액 1층 또는 2층 동시코팅 테스트
- 다이 및 시스템의 가공 정밀도 매우 우수
- 코팅 Bead control 가능
- 기판 가열 및 비접촉식 코팅 실험에 유용하며 재현성이 뛰어남