Hitachi
SU8020
5년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2013-05-07
517,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
70,000원
아주 미세한 Gun Electron Source(전자원)으로 부터 인가된 일차 전자가 시료에 조사되면서 발생되는 다양한 전자 (Secondary Electron, Backscattered Electron, Cathode Luminescence, etc.)를 이용하여 시료 표면의 미세한 구조를 확대 ,관찰하는 기기로서 일반 광학현미경과 비교하여 분해능과 집점심도가 우수하여 sample의 표면관찰은 물론 조성등을 관찰함으로서 시료의 특성 ,표면구조 및 결합을 관찰하는데 사용되는 분석기기이다. 특히 낮은 가속전압으로도 고분해능및 고배율을 얻을수 있는 기기이다.
○ Cold field emission type
○ 해상도 : 1.0nm at 15kV / 1.3nm at 1kV
○ 배율
- on photo mode, 20 - 2,000,000
○ 가속전압
- standard mode: 0.5 – 30kV
- deceleration mode: 0.1 – 2.0kV
○ Electron Optics
- 조사 전류: 1pA – 2nA
- 대물렌즈 조리개: 4종류 중 선택가능 (100-50-50-30μm)
- Secondary Electron Detector: Top/Upper/ Lower
- Backscattered Electron Detector 추가 장착: Semiconductor type
○ 시편 관측
- X: 0-50mm; Y: 0-50mm; Z: 1.5-30mm
- Tilting: -5°- +70°
- Rotating: 360°(연속)
- 최대 허용 시편 크기 : 100mm dia.
- fully 5-axis motor driven with linked magnification sensor
○ Energy Dispersive Spectrometer
- 해상도 : 125eV 이상 (Mn Kα)
- 측정 면적: 20mm2
- 측정 원소 범위: 4Be to 94Pu
○ 절연체 재료 분석을 위한 표면 코팅
- Ion Sputter Coater incl. Pt target
- Carbon Coating Unit