Rubig
PN70_1200 DUO Flex with DLC
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
2015-06-02
645,883,053원
고정형
시간별
134,560원
- Hot wall type의 장비로서 플라즈마 상태에서 ±5℃의 온도 균일도 확보됨. 처리 시편에 대한 온도측정 가능함. 독특한 냉각시스템갖춤
- 200 kW이상의 출력을 가지고 있는 플라즈마 전원 보유. Bipolar type 전원시스템을 통해 우수한 코팅 특성 확보 가능함.
- 고경도 DLC 코팅층을 10 ㎛이상 성막 가능
- Maximum heating degree — 650°C
- Maximum working weight — 1250kg
- Maximum vacuum rate — 15 mbar/min
- Plasma generator — Max 210Kw, 700V, 300A
- Gas supply — N2, H2, Ar, C2H2,
- Control methods : Electric control
(Temperature, Power, Gas, Pressure)