HD technology
LM-ME_1000W
3년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2014-10-28
80,000,000원
원
자외선 노광을 통해 자외선 감광 수지를 화학반응시킴으로서 패턴을 형성하는 장비
조사되는 자외선 파장은 350~360nm 이며, 이 파장의 자외선에 반응하는 감광수지를 사용하여 자외선 조사영역과 비조사영역의 반응성 차이를 통해 감광수지의 패턴을 형성함.
기판크기: 200mm*200mm
자외선 팡장: 350~360nm
자외선 출력: 1000W
정렬: 세미오토
마스크 배치 방식: 진공 하드 접촉 방식/proximity 방식/soft contact 방식 모두 가능